Innovative process of micro-nanostructure of titanium nitride (TiN) by association of a photostructurable titanium oxide (TiO2) and a rapid thermal annealing (RTA)
| Origine | Fichiers produits par l'(les) auteur(s) |
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Communication Dans Un Congrès
Année : 2023
Victor VALLEJO-OTERO : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://hal.science/hal-04094487
Soumis le : jeudi 11 mai 2023-09:53:51
Dernière modification le : mercredi 3 juillet 2024-09:00:07
Archivage à long terme le : samedi 12 août 2023-18:23:28
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-04094487 , version 1
Citer
Victor Vallejo-Otero, Arnaud Valour, Stéphanie Reynaud, Émilie Gamet, Christophe Donnet, et al.. Innovative process of micro-nanostructure of titanium nitride (TiN) by association of a photostructurable titanium oxide (TiO2) and a rapid thermal annealing (RTA). C'Nano The nanoscience meeting, Mar 2023, Poitiers, France. ⟨hal-04094487⟩
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