%0 Journal Article %T The effect of deposition and annealing conditions on crystallographic properties of sputter barium ferrite thick films %+ Dispositifs et Instrumentation en Optoélectronique et micro-ondes (DIOM) %+ Laboratoire de physique de la matière (LPM) %+ Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (CEA-LETI) %A Bayard, B. %A Chatelon, Jean-Pierre %A Le Berre, M. %A Joisten, Hélène %A Rousseau, J.J. %A Barbier, Damien %< avec comité de lecture %@ 0924-4247 %J Sensors and Actuators A: Physical %I Elsevier %V 99 %N 1-2 %P 207-212 %8 2002-07 %D 2002 %R 10.1016/S0924-4247(01)00888-3 %Z Engineering Sciences [physics]/Micro and nanotechnologies/MicroelectronicsJournal articles %G English %L ujm-00356482 %U https://ujm.hal.science/ujm-00356482 %~ UNIV-ST-ETIENNE %~ CEA %~ CNRS %~ INSA-LYON %~ DRT %~ LETI %~ INSA-GROUPE %~ CEA-GRE %~ UDL