La photolithographie colloïdale, une technique adaptée à différentes géométries de substrats et à différentes épaisseurs de couches photogravables.
Loic Berthod
(1, 2)
,
Olga Shavdina
(1, 3)
,
C. Veillas
(1)
,
I. Verrier
(1)
,
Michel Langlet
(2)
,
Francis Vocanson
(1)
,
O. Dellea
(3)
,
Yves Jourlin
(1)
I. Verrier
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Michel Langlet
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O. Dellea
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Yves Jourlin
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