La photolithographie colloïdale, une technique adaptée à différentes géométries de substrats et à différentes épaisseurs de couches photogravables. - Université Jean-Monnet-Saint-Étienne Access content directly
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La photolithographie colloïdale, une technique adaptée à différentes géométries de substrats et à différentes épaisseurs de couches photogravables.

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Dates and versions

ujm-01293492 , version 1 (24-03-2016)

Identifiers

  • HAL Id : ujm-01293492 , version 1

Cite

Loic Berthod, Olga Shavdina, C. Veillas, I. Verrier, Michel Langlet, et al.. La photolithographie colloïdale, une technique adaptée à différentes géométries de substrats et à différentes épaisseurs de couches photogravables.. 12ème journée Sol-Gel Rhône-Alpes Auvergne (JSGRAA12), Mar 2016, SAINT-ETIENNE, France. ⟨ujm-01293492⟩
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