Microstructural evolution and properties of He-charged a-Si coatings prepared by magnetron sputtering - Université Jean-Monnet-Saint-Étienne Accéder directement au contenu
Article Dans Une Revue Applied Surface Science Année : 2023

Dates et versions

ujm-04244544 , version 1 (16-10-2023)

Identifiants

Citer

V. Godinho, J. Caballero-Hernández, B. Lacroix, F.J. Ferrer, D. Jamon, et al.. Microstructural evolution and properties of He-charged a-Si coatings prepared by magnetron sputtering. Applied Surface Science, 2023, pp.158681. ⟨10.1016/j.apsusc.2023.158681⟩. ⟨ujm-04244544⟩
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