Technologie de fabrication et métrologie des réseaux de diffraction de grandes surfaces et de période sub-micrométrique - Université Jean-Monnet-Saint-Étienne Access content directly
Conference Papers Year : 2007

Technologie de fabrication et métrologie des réseaux de diffraction de grandes surfaces et de période sub-micrométrique

Yves Jourlin
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Dates and versions

ujm-00358882 , version 1 (04-02-2009)

Identifiers

  • HAL Id : ujm-00358882 , version 1

Cite

Yves Jourlin. Technologie de fabrication et métrologie des réseaux de diffraction de grandes surfaces et de période sub-micrométrique. 1ere rencontres recherche-industrie en nanométrologie, Nov 2007, paris, France. ⟨ujm-00358882⟩
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