Couches sol-gel fonctionnalisées photogravables par lithographie optique. - Université Jean-Monnet-Saint-Étienne Access content directly
Conference Papers Year : 2015

Couches sol-gel fonctionnalisées photogravables par lithographie optique.

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Dates and versions

ujm-01142342 , version 1 (15-04-2015)

Identifiers

  • HAL Id : ujm-01142342 , version 1

Cite

Loic Berthod, Olga Shavdina, Yves Jourlin, Michel Langlet, Francis Vocanson, et al.. Couches sol-gel fonctionnalisées photogravables par lithographie optique.. 11ème journée Sol-Gel Rhône-Alpes Auvergne (JSGRAA11), Mar 2015, Saint-Etienne, France. ⟨ujm-01142342⟩
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